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PVD Coating/Target
PVD Coating/Target
PVDCoating / Target
다기능성 코팅 / 다성분계 합금 타겟
  • 컬러합금 타겟 (Silver, yellow gold, pink gold, platinum, dark blue 등)
  • 저마찰-내마모 코팅용 타겟 (ZCS 등)
  • 금속 가공 공구 코팅용 타겟 (TiAlCr, AlCr 등)
  • 디스플레이용 타겟 (Mo, MoTi 합금 평판/실린더 타입)
  • 귀금속 타겟 (Ag, Pt, Au 등)
  • 세라믹 타겟 (Y2O3, YSZ, GeTe 등)
  • Customization
다성분계 합금 타겟
제작 기술
  • 국내 최초 다성분계 합금 타겟 소재 설계 및 고밀도 성형기술을 개발
  • 국내 자동차(H社) 제작 업체 공급 및 최근 디스플레이 / 반도체 / 가전 / 공구 / 금형 등 코팅 시장에 확대 적용 (특허 출원 4건, 특허 등록 2건)
다성분계 합금 타겟 사용 이점
순금속 or 2원계 합금 타겟 사용 (기존 기술)- 장비 복잡화 및 대형화
- 고온공정 (합금화)
- 균일도 및 신뢰성 낮음
- 3성분계 이상 적용 한계
- 분말 혼합 후 소결 (타겟 밀도 96% ↓)
다성분계 합금 타겟 사용 (EML 기술)- 단순한 장비 및 공정
- 저온 공정 가능
- 균일도 및 신뢰성 높음
- 조성 성분 및 다양한 합금 가능
- 합금 분말 제작 후 소결 (타겟 밀도 99% ↑)
Arc Ion Plating (AIP) PVD 증착 설비
PVD Target 평판형, 실린더형
나노 복합
(Nano-composite)
코팅 기술
  • 내열 / 내산화 / 내전 / 저마찰 / 내마모 특성 등 2가지 이상의 다양한 특성이 복합적으로 동시에 작용할 수 있는 신개념의 나노 복합 코팅 물질을 개발하여 적용
    (특허 출원 4건, 특허 등록 1건)
PVD 기능성 코팅기술 개발 방향 및 특성
나노 복합 코팅을 위한 EML 보유기술
Materials
Materials Purity Shape/Size Materials Purity Shape/Size
Al >4N Disk, Plate, Rotary / Customization Zr >2N5 Disk, Plate, Rotary / Customization
Al Alloy >4N Zr Alloy >2N5
Ni >4N Fe >3N
Ni Alloy >3N Fe Alloy>3N
Cr >3N5 Mo>3N
Cr Alloy >3N Mo Alloy>3N
Ti >4N Co>3N
Ti Alloy >3N Co Alloy>3N
Cu >4N Ceramic
Cu Alloy >3N Customization
Pure metal & Alloy target list
Applications Formula Purity Shape/Size
Pure Metal Al, Au, Cr, Co, Cu, Mo, Nb, Pt, Si, Ta, Zr, etc. 99.0 ~ 99.999 Disk, Plate, Rotary / Customization
저마찰내마모
코팅용 타겟
AlCr 99.95 Disk, Plate / Customization
ZrCrSi 99.95 Disk, Plate, Rotary / Customization
ZrCuSi 99.95
ZrMoTi 99.95
금속가공 공구
코팅용 타겟
TiAlSi 99.95 Disk / Customization
TiAlCr 99.95
AlCr 99.95
고기능성 플랙서블
전극용 타겟
AlRe 99.95 Disk / Customization
AlTiN 99.95
TiAlN 99.95
ZrCrSi 99.95 Disk, Plate, Rotary / Customization
고융점,
HEA 합금 타겟
Mo 99.95 Disk, Plate, Rotary / Customization
MoTi 99.95
MoZrTiSi 99.95 Disk / Customization
TiCrAlCuNi 99.95
Ceramic target list
Applications Formula Purity Shape/Size
Aluminum oxide Al₂O₃ 99.99 Disk / Customization
Cerium oxide CeO₃ 99.9
Chromium oxide Cr₂O₃ 99.8
Gallium oxide Ga₂O₃ 99.999
Hafnium oxide HfO₂ 99.995
HfCaO 99.0
HfY₂O₃ 99.0
Lanthanum oxide La₂O₃ 99.99
Lithium oxide
Lithium niobate
Li₂O₃ 99.95
LiNbO₃ 99.9
Silicon
(dioxide, monoxide)
SiO₂ 99.995
99.97
SiO 99.99
99.9
Titanium oxide TiO₂ 99.995
99.9
Yttrium aluminum oxide Y₃Al₅O₁₂ 99.9
Yttrium iron oxide Y₃Fe₅O₁₂ 99.99
Yttrium oxide Y₂O₃ 99.9
Zinc oxide ZnO 99.99
Zirconium oxide ZrO₂CaO 99.0
ZrO₂Y₂O₃ 99.0
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